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1180系列类金刚石涂层设备

非平衡闭合磁控阴极技术（UBM)，智能挡板（SS) ，阳极层离子源
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产品描述

1、非平衡闭合磁控阴极技术（UBM)
2、智能挡板（SS)   
3、阳极层离子源

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